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碳化硅抛光液,SiC抛光液,碳化硅衬底抛光

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碳化硅(SiC)抛光液

所属分类:抛光液      发布时间:2020-02-18

无定形碳硅(SiC)多晶硅涂料是 3.代光纤宽带隙半导涂料的代表着, 根据其包括禁速度度大(~Si的3倍)、温度导率(~Si的3.3倍或GaAs的10倍)、高手机元器材饱和点转入速度(~Si的2.5倍)、高击穿电压电磁场(~Si的10倍或GaAs的5倍)等严重属性, 在温度、超高压、高频率、大工作效率手机元器材器材各个区域和航天科技、军工概念股、核技术等倾向自然环境应运各个区域拥有没法取代的竞争优势, 化解了传统化半导涂料器材在具体应运中的缺点, 正日益称得上工作效率半导的主要。 「郑州新安纳」江苏九游会入口网上新材料技术受限公司设计规划了款型氢氟酸处理硅晶圆(SiC Wafer)增加光泽处理液, 一般物料其中包括:SC- A1901, SC-A1906, SC-AT2000, SC-A2002, SC-AT2012, SC-A1905, SC-S1903等款型氢氟酸处理硅增加光泽处理液。举例说明氢氟酸处理硅粗抛液也会有氢氟酸处理硅精抛液:  
碳化硅粗抛光液

优点

1. 打蜡 速度不低于2.5μm/h; 2. 镜面抛光面平整度滑腻, 无凸显刮花; 3. 使用年限长。

应用:不同尺寸高纯半绝缘体4H-SiC, N型4H-SiC等晶圆抛光。

 
碳化硅精抛液

优点

1. cnc精密机械加工面上性能好, 面上变厚度Ra<0.15μm; 2. 除去吸收率高, 磨光效率不低于1μm/h; 3. 易洗涤。

应用:不同尺寸高纯半绝缘体4H-SiC, N型4H-SiC等晶圆精抛。

SiC碳化硅抛光液

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