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钽酸锂抛光液,LT抛光液,晶圆抛光

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钽酸锂(LiTaO3)抛光液

所属分类:抛光液      发布时间:2020-02-19

上海九游会入口电子科技有限公司开发了钽酸锂抛光液系列产品, 主要包括LT-01、LT-02、LT-1915、LT-1901、LT-1902等系列。目前广泛应用于国内各大钽酸锂晶体晶圆厂家, 市场占有率7成以上, 欢迎电话咨询:186-2157-4686(李博士)。

钽酸锂(LiTaO3, 缩写英文LT)单晶状体, 是集光电科技探测器、铁电、热释电、声光控开关及电光等能力于分立式的多模块单晶状体建筑文件, 在声面上波(SAW)配件、光电科技力、脉冲光及光电科技子等范畴中含着比较广泛的软件应用, 是制做滤波器合谐振器的重中之重建筑文件。  

酸性钽酸锂抛光液

优点

1、镜面抛光传输速率大于等于15μm /h。 2、拋光面整齐均匀, 无凸显划破, 面毛糙度提高0.2nm下。 3、呈酸性镜面拋光液, 镜面拋光传输率有效。

应用:钽酸锂等晶圆抛光。

 

碱性钽酸锂抛光液

优点

1. 拋光传输率超出10μm/h 。 2. 打磨的外表平整度光滑, 无强烈刮破, 的外表滑度提高0.15nm以下的。 3. 酸碱性打蜡 液, 打蜡 后的的表面层性能尽量。  

主要指标:LTV<0.5, TTV<3, Ra<0.3。

应用:钽酸锂等晶圆的精抛。

钽酸锂抛光液

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